激光加工装置、激光加工条件设定装置、方法、及程序

摘要

本发明是一种激光加工装置，其使得易于进行3维激光加工数据设定。其构成为，具有：加工条件设定部，其用于设定加工对象面的3维形状和加工图案，作为加工为期望的加工图案的加工条件；加工数据生成部，其按照由加工条件设定部设定的加工条件，生成加工对象面的激光加工数据；以及加工图像显示部，其可以以2维显示由加工数据生成部生成的激光加工数据的图像，其构成为，在由加工图像显示部以2维显示配置在作业区域内的加工对象物的加工对象面的状态下，可以由加工条件设定部设定加工对象面的3维形状及加工图案。

主权项

1.一种激光加工装置，其向配置在作业区域内的加工对象物的加工对象面照射激光，以可以加工出希望的加工图案，其特征在于，具有：激光振荡部，其用于产生激光；激光扫描系统，其用于使由前述激光振荡部出射的激光在作业区域内扫描，该激光扫描系统包括：扩束器，其通过使配置在由前述激光振荡部照射的激光的光轴上的透镜沿着光轴移动，使激光的焦距可以调整；第1扫描器，其用于使透过前述扩束器的激光向第1方向扫描；以及第2扫描器，其用于使由前述第1扫描器扫描的激光向与前述第1方向大致正交的第2方向扫描；激光控制部，其用于控制前述激光振荡部及前述激光扫描系统；加工条件设定部，其用于设定加工对象面的3维形状和加工图案，作为加工出希望的加工图案的加工条件；加工数据生成部，其按照由前述加工条件设定部设定的加工条件，生成加工对象面的激光加工数据；以及加工图像显示部，其可以以2维显示由前述加工数据生成部生成的激光加工数据的图像，该激光加工装置构成为，在由前述加工图像显示部以2维显示配置在作业区域内的加工对象物的加工对象面的状态下，可以由前述加工条件设定部设定加工对象面的3维形状及加工图案。