移相横向剪切干涉仪

摘要

一种移相横向剪切干涉仪，由第一起偏器、输入平行平板、第二起偏器、第三起偏器、第一剪切平板、第二剪切平板、输出平行平板、四分之一波片、检偏器、CCD相机和计算机组成，该移相横向剪切干涉仪为等光程干涉光学系统，剪切量连续可调，非常适合于短相干长度光束的波前测量，能满足不同光束口径和测量精度要求的波前检测。

主权项

1.一种移相横向剪切干涉仪，其特征在于由第一起偏器(1)、输入平行平板(2)、第二起偏器(3)、第三起偏器(4)、第一剪切平板(5)、第二剪切平板(6)、输出平行平板(7)、四分之一波片(8)、检偏器(9)、CCD相机(10)和计算机(11)组成，其位置关系如下：第一起偏器(1)处于输入平行平板(2)的一侧且在其入射光路中，入射光束与所述的输入平行平板(2)成45°，所述的输出平行平板(7)与所述的输入平行平板(2)的材料与厚度相同且平行放置，在所述的输入平行平板(2)和输出平行平板(7)之间，在所述的输入平行平板(2)的第一介质面(21)的反射光路中设置第二起偏器(3)和第一剪切平板(5)，在所述的输入平行平板(2)的第二介质面(22)的反射光路中设置第三起偏器(4)和第二剪切平板(6)，所述的第一剪切平板(5)和第二剪切平板(6)倾斜方向相反地对称放置，该第一剪切平板(5)和第二剪切平板(6)具有绕公共轴同时进行反向旋转的机构，所述的第二起偏器(3)和第三起偏器(4)的材料与厚度相同，在所述的输出平行平板(7)的出射光路中依次是四分之一波片(8)、检偏器(9)和CCD相机(10)，该CCD相机(10)的输出端与所述计算机(11)的输入端相连。