发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE, SEMICONDUCTOR DEVICE, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND METHOD FOR DESIGNING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100798826(B1) 申请公布日期 2008.01.28
申请号 KR20060067924 申请日期 2006.07.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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