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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING SILICON WAFER AND SILICON WAFER PRODUCED BY THE PROCESS
摘要
申请公布号 KR100798585(B1) 申请公布日期 2008.01.28
申请号 KR20077001177 申请日期 2007.01.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/322;H01L21/02;H01L21/208 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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