对终点检测状态的监控方法

摘要

本发明公开了一种对终点检测状态的监控方法，通过预先生成与需要生产的产品有相同结构的光片作为测试片，在生产需要终点检测的研磨工艺产品之前，利用与产品一样的终点检测程序来检知该光片的终点，从而达到监控终点检测是否处于正常状态的目的。本发明可以正确的检知到研磨终点，保证产品的合格率。本发明不仅可以用于监控利用光学原理的终点检测方法，还可以用于监控利用温度变化、电流强度变化的终点检测方法。

主权项

1.一种对终点检测状态的监控方法，其特征在于：在生产需要终点检测的研磨工艺产品之前，首先生成一种和产品有相同层间膜介质的光片，作为监控终点检测状态正常与否的测试片，研磨该光片，以检测化学机械抛光的终点检测本身是否处于正常状态；当状态正常时，再对产品进行研磨。