发明名称 新型真空室门结构
摘要 本实用新型提供一种多旋转轴真空室门结构,包括门体和真空室门框,所述门体和门框的结合处设置有连续的密封件,其特征在于:所述门结构还包括一个或一组摆臂装置,所述门体和门框分别通过两个或两组旋转结构与所述摆臂装置相连接,所述两个或两组旋转结构具有相互平行的轴线。本实用新型相对现有真空室门结构具有结构简单、操作简便,密封可靠、生产效率高的优点。
申请公布号 CN201010688Y 申请公布日期 2008.01.23
申请号 CN200720103861.8 申请日期 2007.03.16
申请人 北京北仪创新真空技术有限责任公司 发明人 张迎春;刘洁雅;袁青春;李佳
分类号 C23C14/22(2006.01);E05D7/085(2006.01) 主分类号 C23C14/22(2006.01)
代理机构 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 代理人 张涛
主权项 1.新型真空室门结构,包括门体和真空室门框,所述门体和门框的结合处设置有连续的密封件,其特征在于:所述门结构还包括一个或一组摆臂装置,所述门体和门框分别通过两个或两组旋转结构与所述摆臂装置相连接,所述两个或两组旋转结构具有相互平行的轴线。
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