| 发明名称 | 蒸镀设备及其运送装置 | ||
| 摘要 | 一种蒸镀设备，用于在蒸镀制作工艺中蒸镀一基板，包括：一腔体、一发射源、一机械手臂以及一屏蔽。发射源设于腔体中，机械手臂用于承载基板进入腔体中，屏蔽设于机械手臂上，并位于基板与发射源之间。当基板由机械手臂运送时，屏蔽遮蔽基板以避免发射源所发射出的分子污染基板。 | ||
| 申请公布号 | CN101109066A | 申请公布日期 | 2008.01.23 |
| 申请号 | CN200610098932.X | 申请日期 | 2006.07.17 |
| 申请人 | 统宝光电股份有限公司 | 发明人 | 西川龙司;吴文豪 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01) | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 魏晓刚;李晓舒 |
| 主权项 | 1.一种运送装置，在一蒸镀制作工艺中运送一基板S，包括：一机械手臂，用于承载该基板；以及一屏蔽，设于该机械手臂上，当该基板由该机械手臂运送时，该屏蔽遮蔽该基板以避免该基板被污染。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学工业区 | ||