发明名称 1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅
摘要 一种1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅,TM偏振光和TE偏振光分别在0级和1级反射,光栅的占空比为0.5,该光栅的周期为344-412纳米、刻蚀深度为1.076-1.205微米时,偏振分束光栅的消光比大于100,可以实现将两种偏振模式相互垂直的光分为不同的方向出射。
申请公布号 CN101109831A 申请公布日期 2008.01.23
申请号 CN200710045141.5 申请日期 2007.08.22
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 周常河;冯吉军;王博;茹华一
分类号 G02B5/18(2006.01);G02B27/28(2006.01);G02B5/30(2006.01) 主分类号 G02B5/18(2006.01)
代理机构 上海新天专利代理有限公司 代理人 张泽纯
主权项 1.一种1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅,该光栅的TM偏振光和TE偏振光分别在0级和1级反射,光栅的占空比为0.5,其特征在于该光栅的周期为344~412纳米、刻蚀深度为1.076~1.205微米,光栅的占空比为1/2。
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