发明名称 |
1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅 |
摘要 |
一种1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅,TM偏振光和TE偏振光分别在0级和1级反射,光栅的占空比为0.5,该光栅的周期为344-412纳米、刻蚀深度为1.076-1.205微米时,偏振分束光栅的消光比大于100,可以实现将两种偏振模式相互垂直的光分为不同的方向出射。 |
申请公布号 |
CN101109831A |
申请公布日期 |
2008.01.23 |
申请号 |
CN200710045141.5 |
申请日期 |
2007.08.22 |
申请人 |
中国科学院上海光学精密机械研究所 |
发明人 |
周常河;冯吉军;王博;茹华一 |
分类号 |
G02B5/18(2006.01);G02B27/28(2006.01);G02B5/30(2006.01) |
主分类号 |
G02B5/18(2006.01) |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 |
代理人 |
张泽纯 |
主权项 |
1.一种1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅,该光栅的TM偏振光和TE偏振光分别在0级和1级反射,光栅的占空比为0.5,其特征在于该光栅的周期为344~412纳米、刻蚀深度为1.076~1.205微米,光栅的占空比为1/2。 |
地址 |
201800上海市800-211邮政信箱 |