摘要 |
Ein Biegeschwinger (26) für einen Fluidsensor zur Messung von charakteristischen Eigenschaften eines Fluids weist piezoelektrische Schichten (4, 5) auf, die zusammen mit Kontaktelektroden (6, 7, 8) einen Biegeaktor und einen Biegesensor bilden. Bei dem Biegeschwinger (26) sind die Kontaktelektroden (6, 7, 8) auf einen Bewegungsbereich (20) beschränkt, wodurch Biegespannungen in einem Einspannbereich (22) minimiert werden. Durch Querschnittsreduktionen (27) kann zusätzlich ein Entkoppelbereich (21) definiert werden.
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