发明名称 Fluidsensor zur Messung charakteristischer Eigenschaften eines Fluids
摘要 Ein Biegeschwinger (26) für einen Fluidsensor zur Messung von charakteristischen Eigenschaften eines Fluids weist piezoelektrische Schichten (4, 5) auf, die zusammen mit Kontaktelektroden (6, 7, 8) einen Biegeaktor und einen Biegesensor bilden. Bei dem Biegeschwinger (26) sind die Kontaktelektroden (6, 7, 8) auf einen Bewegungsbereich (20) beschränkt, wodurch Biegespannungen in einem Einspannbereich (22) minimiert werden. Durch Querschnittsreduktionen (27) kann zusätzlich ein Entkoppelbereich (21) definiert werden.
申请公布号 DE102006030657(A1) 申请公布日期 2008.01.17
申请号 DE200610030657 申请日期 2006.07.03
申请人 SIEMENS AG 发明人 GILCH, MARKUS;SCHAEDLICH, DENNY
分类号 G01N11/16;G01N9/00;G01N33/28 主分类号 G01N11/16
代理机构 代理人
主权项
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