| 发明名称 |
Methode zur Erzeugung einer Struktur mittels eines lithographisch hergestellten Musters |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60313705(T2) |
申请公布日期 |
2008.01.17 |
| 申请号 |
DE20036013705T |
申请日期 |
2003.07.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD. |
发明人 |
HASEGAWA, MITSURU;MIYAUCHI, AKIHIRO |
| 分类号 |
G03F7/00;H01L21/027;B29C33/42;B29C43/00;B29C43/36 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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