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发明名称
Verfahren zur Herstellung einer Antifuse in einem Substrat und Antifuse-Struktur zur Integration in einem Substrat
摘要
申请公布号
DE10255427(B4)
申请公布日期
2008.01.17
申请号
DE2002155427
申请日期
2002.11.28
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
LINDOLF, JUERGEN;SCHAMBERGER, FLORIAN
分类号
H01L21/768;H01L23/525
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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