发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Antifuse in einem Substrat und Antifuse-Struktur zur Integration in einem Substrat
摘要
申请公布号 DE10255427(B4) 申请公布日期 2008.01.17
申请号 DE2002155427 申请日期 2002.11.28
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 LINDOLF, JUERGEN;SCHAMBERGER, FLORIAN
分类号 H01L21/768;H01L23/525 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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