薄膜电晶体的制造方法

摘要

一种薄膜电晶体的制造方法，首先于基板上形成闸极。接着，于基板上形成绝缘层，且绝缘层覆盖住闸极。然后，于闸极上方之绝缘层上形成半导体层。接下来，于半导体层上形成源极／汲极。于形成源极／汲极之后，进行一表面处理制程。