研磨玻璃基板之制造方法,研磨玻璃基板及表面研磨液

摘要

提供一种研磨玻璃基板之制造方法，系仰制凹痕之成长而对玻璃基板进行表面研磨，制得无凹痕及段差之平滑表面之玻璃基板者；于装满含有40～90重量％硫酸及0.4～4重量％氟酸之表面研磨液6的表面平滑化槽1中，使安置有玻璃基板20之卡座21浸渍其中并进行表面研磨，抑制凹痕之成长而形成平滑的玻璃表面，再以第1水洗槽2水洗，然后浸渍于装满含有2～30重量％氟酸之后段研磨液的后段研磨槽3中，进行后段研磨至所需的玻璃基板厚度，藉此制造研磨玻璃基板。