发明名称 Semiconductor substrate for interferometer fiber optic gyroscopes
摘要 <p>A method for forming an interferometer is disclosed. The method involves forming a ring interferometer and fiber optic gyroscope on a single semiconductor substrate.</p>
申请公布号 EP1878999(A1) 申请公布日期 2008.01.16
申请号 EP20070106155 申请日期 2007.04.13
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 WILFINGER, RAYMOND J
分类号 G01C19/72 主分类号 G01C19/72
代理机构 代理人
主权项
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