主权项 |
1.一种位移传感器,包括:多个磁感应器件;磁部件(14),可沿着规定的基准轴(22)相对于上述磁感应器件移动,用于在上述多个磁感应器件的位置,形成具有随着移位方向上的位移量而改变强度的磁场;在假设由沿着上述基准轴(22)的直线距离座标、以上述基准轴(22)为中心的旋转角度座标和距上述基准轴(22)的半径距离座标而构成的圆柱座标系的情况下,上述多个磁感应器件,配置在上述直线距离座标不同的位置,输出具有和各自配置地点的上述磁场强度相对应电平的信号,上述多个磁感应器件配置在上述旋转角度座标不同的位置,平均电路(40),用于接收上述多个磁感应器件的输出信号,并输出平均信号(54),该平均信号的电平为接收到的上述输出信号电平的平均值;A/D变换器(44),用于将从平均电路(40)所接收的平均信号(54)转换为表示数字的平均电压的平均电压数据(57);电压-位移表(47),用于存储和平均电压数据(57)所表示的各平均电压值相对应的位移量;位移量运算部(46),用于参照上述电压-位移表(47)将所得到的平均电压数据(57)转换为对应于上述位移量的位移数据;校正部(49),用于当上述磁部件(14)位于规定的中位时,接收上述多个磁感应器件的输出信号,根据上述多个磁感应器件的输出信号电平和在上述中位的上述输出信号的规定正常电平,求出上述磁部件偏离上述基准轴的第1电压误差信号和上述磁部件倾斜于上述基准轴的第2电压误差信号,基于上述第1和第2电压误差信号双方,校正上述 电压-位移表(47)。 |