发明名称 一种LED芯片/晶圆的非接触式检测方法
摘要 本发明涉及一种LED芯片/晶圆的非接触式检测方法,特别是一种用于未封装的单个LED芯片或者有多个LED芯片的晶圆的检测方法。它通过检测控制和信号采集处理单元(9)控制光源(7)发射激励光束(4)照射在待测LED芯片/晶圆(2)的PN结(1)上,PN结(1)上形成的自发光(3)由会聚透镜组(6)会聚至光电转换器(8),光电转换器(8)将光信号转换成电信号,送入检测控制和信号采集处理单元(9)进行处理来实现对LED芯片/晶圆的检测。采用本发明所述方法可以对LED芯片/晶圆的PN结功能状态进行检测;还可以不接触LED芯片/晶圆实现对LED芯片/晶圆性能参数的检测。
申请公布号 CN101105519A 申请公布日期 2008.01.16
申请号 CN200710092521.4 申请日期 2007.08.03
申请人 重庆大学 发明人 李平;文玉梅;文静;李恋
分类号 G01R31/311(2006.01) 主分类号 G01R31/311(2006.01)
代理机构 重庆弘旭专利代理有限责任公司 代理人 周韶红
主权项 1.一种LED芯片/晶圆的非接触式检测方法,其特征在于:它通过检测控制和信号采集处理单元(9)控制光源(7)发射激励光束(4)照射在待测LED芯片(2)/晶圆的PN结(1)上,PN结(1)上形成的自发光(3)由会聚透镜组(6)会聚至光电转换器(8),光电转换器(8)将光信号转换成电信号,送入检测控制和信号采集处理单元(9)进行处理来实现对LED芯片/晶圆的检测。
地址 400044重庆市沙坪坝区沙正街174号