发明名称 气浮式机台接触警报装置
摘要 本发明提供了一种气浮式机台接触警报装置。该气浮式机台接触警报装置包含有一测量电路、一参考电压电路、一显示控制器与一显示器;测量电路用来测量气浮式机台的底座与气浮平台之间的一阻抗,并输出一测量电压至显示控制器;参考电压电路则输出一参考电压至显示控制器;显示控制器比较测量电压与参考电压,以实时监控气浮平台与底座之间的间隙,并通过显示器输出。通过本发明,可以实时输出检测结果,即便是在机台运转时,仍可有效地监控气浮平台与底座之间的间隙,使得气浮式机台的操作更为安全,进而提升气浮式机台的使用寿命,降低生产成本。
申请公布号 CN101105591A 申请公布日期 2008.01.16
申请号 CN200710141652.7 申请日期 2007.08.17
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 林驰程;詹围森
分类号 G02F1/1333(2006.01);H01L21/67(2006.01);B25H1/00(2006.01);G08B21/00(2006.01) 主分类号 G02F1/1333(2006.01)
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 陈晨
主权项 1.一种气浮式机台接触警报装置,至少包含:一测量电路,以测量一气浮式机台的一底座与一气浮平台之间的一阻抗,并输出一测量电压;一参考电压电路,用于输出一参考电压;一显示控制器,连接该测量电路及该参考电压电路;以及一显示器,连接该显示控制器;其中,该显示控制器比较该测量电压与该参考电压,以检测该气浮平台与该底座之间的一间隙。
地址 台湾省新竹市