发明名称 |
气浮式机台接触警报装置 |
摘要 |
本发明提供了一种气浮式机台接触警报装置。该气浮式机台接触警报装置包含有一测量电路、一参考电压电路、一显示控制器与一显示器;测量电路用来测量气浮式机台的底座与气浮平台之间的一阻抗,并输出一测量电压至显示控制器;参考电压电路则输出一参考电压至显示控制器;显示控制器比较测量电压与参考电压,以实时监控气浮平台与底座之间的间隙,并通过显示器输出。通过本发明,可以实时输出检测结果,即便是在机台运转时,仍可有效地监控气浮平台与底座之间的间隙,使得气浮式机台的操作更为安全,进而提升气浮式机台的使用寿命,降低生产成本。 |
申请公布号 |
CN101105591A |
申请公布日期 |
2008.01.16 |
申请号 |
CN200710141652.7 |
申请日期 |
2007.08.17 |
申请人 |
友达光电股份有限公司 |
发明人 |
林驰程;詹围森 |
分类号 |
G02F1/1333(2006.01);H01L21/67(2006.01);B25H1/00(2006.01);G08B21/00(2006.01) |
主分类号 |
G02F1/1333(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
陈晨 |
主权项 |
1.一种气浮式机台接触警报装置,至少包含:一测量电路,以测量一气浮式机台的一底座与一气浮平台之间的一阻抗,并输出一测量电压;一参考电压电路,用于输出一参考电压;一显示控制器,连接该测量电路及该参考电压电路;以及一显示器,连接该显示控制器;其中,该显示控制器比较该测量电压与该参考电压,以检测该气浮平台与该底座之间的一间隙。 |
地址 |
台湾省新竹市 |