发明名称 通过四氯硅烷的热氢化反应制备三氯硅烷的方法
摘要 本发明涉及一种方法,其中含四氯化硅的反应物气体和含氢气的反应物气体在700-1500℃的温度下反应,从而形成含三氯硅烷的产物混合物。本发明方法的特征在于,根据等式1,产物混合物在反应物气体于热交换器中的停留时间τ[ms]内冷却到温度T<SUB>cooling</SUB>,其中A=4000,6≤B≤50,100℃≤T<SUB>Cooling</SUB>≤900℃,并且经由热交换器除去的产物气体的能量用于加热反应物气体。
申请公布号 CN101107197A 申请公布日期 2008.01.16
申请号 CN200680003231.1 申请日期 2006.01.26
申请人 瓦克化学股份公司 发明人 N·加西亚-阿隆索;C·吕丁格;H-J·埃贝勒
分类号 C01B33/107(2006.01) 主分类号 C01B33/107(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 程大军
主权项 1.一种使含四氯化硅的反应物气体和含氢气的反应物气体在700-1500℃的温度下反应以形成含三氯硅烷的产物混合物的方法,其特征在于,产物混合物通过热交换器冷却,该产物混合物在反应物气体于热交换器中的停留时间τ[ms]内冷却到温度T<sub>cooling</sub>,<img file="A2006800032310002C1.GIF" wi="772" he="131" />其中A=4000,6≤B≤50,100℃≤T<sub>Cooling</sub>≤900℃,,并且经由热交换器除去的产物气体的能量用于加热反应物气体。
地址 德国慕尼黑