梯度薄膜

摘要

一种物品及生产所述物品的方法和系统，所述物品包含自物品表面起一定厚度的第一膜，所述第一膜相对于所述物品的表面在垂直和/或水平方向上在至少一部分所述厚度的第一膜内具有梯度化学组成。

主权项

一种用于制造多层梯度组成薄膜的方法，所述方法包括：将至少一种化学前体引入到等离子体中；沉积一定厚度的第一膜至衬底的表面，所述第一膜具有来源于所述至少一种化学前体的化学组成；修改在沉积一定厚度的第一膜期间与所述至少一种化学前体的沉积相关的至少一个等离子体相关的工艺参数；相对于所述衬底在垂直方向上或在垂直和水平方向上独立或组合地改变至少一部分所述厚度的第一膜的化学组成。