大气压平面放电化学气相沉积纳米颗粒膜方法及装置

摘要

一种大气压平面放电化学气相沉积纳米颗粒膜的方法及装置，其特征是在大气压化学气相沉积装置的反应器中增加气流分配器，使气体均匀流过放电区并在基材包括软基材表面均匀、快速地沉积具有相同组分的膜层。在装置的反应器中放置不同个数的平面放电单元，增加或减少气体穿越放电区的空间距离，以调节沉积膜的组分，同时借助放电区辐射的热量在基材表面生长具有一定结晶态的膜层。又在气流方向施加静电高压电场，调整成膜的前驱物或分子碎片在向基材表面输运过程中的空间构型，以调控膜层在基材表面的生长形貌。

主权项

1.一种大气压平面放电化学气相沉积装置，装置的反应器中主要包括反应气体和载气的入口，待沉积薄膜的基材和电极，其特征在于装置的反应器中的电极为平面放电单元，在反应器中增加一个气流分配器：平面放电单元是由平面内一些平行放置的、表面套上石英管的高压电极与接地电极交错平行等间距排列组成，管壁间距为2.0-3.0mm；气流分配器是一空腔，在其和平面放电单元平行的底面为开有直径为1.0mm，间距为2.0-4.0mm的圆孔阵列的金属板，该金属板和平面放电单元具有相同尺寸。