具有补偿电极的电容加速度计

摘要

公开了一种能补偿初始电容的加速度计。在该加速度计中，从梁固定部延伸以便弹性支撑水平可移动浮动主体的两端的支撑梁。从主体的两端向外延伸预定长度的可移动电极。从电极固定部延伸预定长度，以及按预定间隙与可移动电极交替的固定电极。补偿电极部，在主体的移动方向中移动主体，以便均衡在一端的可移动和固定电极间的初始电容以及在另一端的可移动和固定电极间的初始电容。本发明能简单地移动主体补偿电极以便均衡两端的初始电容。

主权项

1.一种能补偿初始电容的加速度计，包括：水平可移动浮动主体；从梁固定部延伸以便弹性支撑所述主体的两端的支撑梁；从所述主体的两端向外延伸预定长度的可移动电极；从电极固定部延伸预定长度，以及按预定间隙与所述可移动电极交替的固定电极；以及补偿电极部，用于在所述主体的移动方向中移动所述主体，以便均衡在一端的所述可移动和固定电极间的初始电容以及在另一端的所述可移动和固定电极间的初始电容；其中，所述补偿电极部包括：从所述主体的两端向外延伸预定长度的至少一个可移动补偿电极；以预定间隙与所述可移动补偿电极平行放置的至少一个固定补偿电极，以便在施加电力时，生成用于吸引所述可移动补偿电极的静电力；以及邻近所述主体的两端固定的补偿电极固定部，对向所述主体延伸预定长度的所述固定补偿电极供电；其中，所述可移动和固定补偿电极的一个具有至少一个突起，所述突起在其变形中与相对电极的本体接触。