摘要 |
<p>Стенд вибрационной диагностики шарикоподшипникового узла турбомолекулярного вакуумного насоса относится к оборудованию диагностики элементов молекулярных вакуумных насосов. Задача - модернизация стенда с упрощением и с одновременным повышением надежности системы диагностики шарикоподшипникового узла ротора ТМН, как одного из самых критичных его элементов. Датчик частоты вращения ротора насоса выполнен с возможностью регулировки углов положения оптопары и поперечного перемещения плоскости оптопары, а сигнал датчика частоты вращения ротора насоса использован для оперативного определения характерной частоты, свидетельствующей о степени износа сепаратора шарикоподшипника, по новой формуле: ν<Sub>bs</Sub>=ν<Sub>0</Sub>·(1+(D+d)/(2d<Sub>b</Sub>Cosα)), где ν<Sub>bs</Sub> - частота контактирования «шарик-сепаратор», Гц; ν<Sub>0</Sub> - частота вращения ротора насоса, Гц; D - наружный диаметр наружного кольца шарикоподшипника, мм; d - внутренний диаметр внутреннего кольца шарикоподшипника, мм; d<Sub>b</Sub> - диаметр шарика шарикоподшипника, мм; α - угол контакта шарикоподшипника. 5 ил.</p> |