Verfahren zur Herstellung eines rohrförmigen Halbzeugs aus fluordotiertem Quarzglas

摘要

Um allgemein bekannte Verfahren zur Herstellung eines rohrförmigen Halbzeugs aus fluordotiertem Quarzglas dahingehend zu verbessern, dass die Herstellung von rohrförmigem Halbzeug aus fluordotiertem Quarzglas mit hochwertiger Innenbohrung bei möglichst geringem Aufwand für deren Erzeugung oder Bearbeitung ermöglicht wird, wird erfindungsgemäß ein Verfahren vorgeschlagen, das folgende Verfahrensschritte umfasst: (a) Es wird ein Substratrohr aus fluordotiertem Quarzglas bereitgestellt, (b) in einem Abscheideprozess werden SiO₂-Partikel mittels Plasmabrenner und in Gegenwart von Fluor gebildet und auf der Zylindermantelfläche des um seine Längsachse rotierenden Substratrohres unter Bildung eines Mutter-Rohres aus fluordotierem Quarzglas schichtweise abgeschieden und (c) in einem Elongierprozess wird das Mutter-Rohr zu dem rohrförmigen Halbzeug elongiert.