发明名称 IMPROVED PROCESS FOR DRAM CELL PRODUCTION
摘要
申请公布号 KR100793254(B1) 申请公布日期 2008.01.10
申请号 KR19990011161 申请日期 1999.03.31
申请人 发明人
分类号 H01L27/108;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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