| 发明名称 | 制造器件的方法 | ||
| 摘要 | 提供一种制造器件的方法，包括液体浸入曝光衬底，其特征在于包括步骤：除去液体中的气体；将除去气体的液体供给到一个空间；使曝光光束通过提供给该空间的液体照射到衬底对所述衬底进行液体浸入曝光。 | ||
| 申请公布号 | CN101101455A | 申请公布日期 | 2008.01.09 |
| 申请号 | CN200710138346.8 | 申请日期 | 2003.12.02 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 大和壮一 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);G03F7/00(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 杜日新 |
| 主权项 | 1.一种制造器件的方法，包括液体浸入曝光衬底，其特征在于包括步骤：除去液体中的气体；将除去气体的液体供给到一个空间；使曝光光束通过提供给该空间的液体照射到衬底对所述衬底进行液体浸入曝光。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||