| 发明名称 | 图形基板的缺陷修正方法、修正装置和图形基板制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种图形基板的缺陷修正方法、缺陷修正装置和图形基板制造方法，能稳定地修正缺陷。本发明的缺陷修正装置是修正形成了图形的基板上的缺陷的缺陷修正装置，包括放置基板(6)的载物台(7)、短脉冲激光光源(1)、使来自短脉冲激光光源(1)的短脉冲激光成形的光束成形机构(2)、以及用于使膜(5)接近基板(6)的气体喷射部件(13)。通过对膜(5)照射激光，同时除去膜(5)和缺陷，并且，移动膜卷轴(8)，使具有着色层(51)的膜(5)接近基板(6)，并把图形转印到基板。 | ||
| 申请公布号 | CN100360918C | 申请公布日期 | 2008.01.09 |
| 申请号 | CN200410058293.5 | 申请日期 | 2004.08.20 |
| 申请人 | 雷射科技股份有限公司 | 发明人 | 楠濑治彦;田岛敦;粟村直树;畑濑晃;石川拓自;小川洁 |
| 分类号 | G01M11/00(2006.01);G01N21/88(2006.01);B23K26/00(2006.01);G02F1/13(2006.01) | 主分类号 | G01M11/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 季向冈 |
| 主权项 | 1.一种缺陷修正装置，除去形成了图形的基板上的缺陷，其特征在于，包括发出脉冲激光的脉冲激光光源，以及与上述基板相对设置且可以相对于上述基板移动的膜，通过对上述膜照射来自上述脉冲激光光源的脉冲激光，用激光烧蚀10nsec以下的时间，从而除去上述膜的一部分和上述缺陷。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||