| 发明名称 |
PROJECTION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS, AND EXPOSURE METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1622191(A4) |
申请公布日期 |
2008.01.09 |
| 申请号 |
EP20040729297 |
申请日期 |
2004.04.23 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
OMURA, YASUHIRO;IKEZAWA, HIRONORI;ISHIDA, KUMIKO |
| 分类号 |
H01L21/027;G02B13/24;G03F7/20 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
