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发明名称 NON-CONTACTING ELECTROSTATICALLY-DRIVEN MEMS DEVICE
摘要
申请公布号 EP1875296(A1) 申请公布日期 2008.01.09
申请号 EP20060751214 申请日期 2006.04.24
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 STRUMPELL, MARK, H.
分类号 G02B26/08;G02B26/00 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
主权项
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