| 发明名称 | 光阻收集座的内衬结构 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光阻收集座的内衬结构，包括一本体、一容置槽及一穿孔，该本体周缘为圆弧面，该本体顶端向下凹设形成该容置槽，该容置槽上端呈开口状，该本体处设置有该穿孔，该穿孔贯穿至该容置槽底面与该本体底端；藉由上述组成，可与光阻涂布机的吸盘配合，让圆片在高速转动下进行光阻的涂布时，光阻细丝不会残留于圆片底面。 | ||
| 申请公布号 | CN201000533Y | 申请公布日期 | 2008.01.02 |
| 申请号 | CN200620139374.2 | 申请日期 | 2006.12.26 |
| 申请人 | 敦南科技股份有限公司 | 发明人 | 洪承祥;连志明;李训敏 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | G03F7/16(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 梁挥;祁建国 |
| 主权项 | 1、一种光阻收集座的内衬结构，其特征在于，该光阻收集座的内衬结构包括：一本体，其周缘为由下向上渐缩的圆弧面；一容置槽，其由该本体顶端向下凹设形成，该容置槽上端呈开口状；以及一穿孔，其位于该本体中央处，该穿孔贯穿至该容置槽底面与该本体底端。 | ||
| 地址 | 中国台湾基隆市 | ||