溅镀装置及溅镀方法

摘要

本发明涉及一溅镀装置，其包括溅镀腔体，该溅镀腔体内设有第一溅射靶、第二溅射靶、底座转盘及多对承载台。该第一溅射靶与该底座转盘之上表面呈相对设置，该第二溅射靶环绕该底座转盘设置。该底座转盘与一转动装置相连，该转动装置用以驱动该底座转盘绕底座转盘中心旋转。该多对承载台设于底座转盘之上表面，每对承载台通过一连接杆相连，该连接杆与一驱动装置相连以驱动连接杆连接之两个承载台绕连接杆之中心点旋转。本发明还涉及使用该溅镀装置之溅镀方法，使用该溅镀装置进行溅镀，操作简单方便，可同时均匀镀覆多个不规则形状工件，有效提高对不规则形状工件溅镀之生产效率，以达到量产之目的。