负片型感光性树脂组成物、图案的制造方法以及电子零件

摘要

一种具有良好感度及析像度之耐热性负片型感光性树脂组成物，以及可获得具有优良之感度、析像度与耐热性，且图案形状良好之图案的制造方法。进而，提供一种具有图案良好形状与特性之可靠性较高之电子零件。于负片型感光性树脂组成物中，以酸作用进行交联或聚合之交联剂，包含有于分子内至少具有一个羟甲基（methylol group）或烷氧基烷基（alkoxy alkyl group）之化合物。较好的是，以酸作用进行交联或聚合之交联剂为，以通式（I）表示之化合物。（式中，Ｘ表示单键或1～4价的有机基；R1、R2分别独立表示氢原子或1价的有机基；n为1～4之整数；p、q分别独立表示0～4之整数）。