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发明名称 PROJECTION LITHOGRAPHY PHOTOMASK BLANKS, PREFORMS AND METHOD OF MAKING
摘要
申请公布号 KR20010111498(A) 申请公布日期 2001.12.19
申请号 KR1020017011702 申请日期 2001.09.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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