积体电路制程与半导体制程的资料分析方法

摘要

一种积体电路制程的分析方法，适用分析多个产品的测试结果，这些产品至少经过一线上品质测试、一产品测试与一良率测试。此方法是依照线上品质测试的结果，将这些产品划分为一正常群组与异常群组，并依照良率测试的结果将这些产品划分为一合格群组与一不合格群组。然后进行一分类步骤，定义不合格群组与正常群组之交集为第一问题群组，不合格群组与异常群组之交集为第二问题群组。对此二问题群组或其中之一作分析，即可进一步辨认出造成不合格的主要因素，进而改善之以提升产品良率。