薄膜电晶体阵列基板及其制作方法

摘要

一种薄膜电晶体阵列基板及其制作方法，其中此制作方法仅需进行六道或甚至更少的光罩制程便可以制作出整合了彩色滤光图案的薄膜电晶体阵列基板。因此，本制作方法在实施上较为简单，并具有较低的生产成本。此外，本制作方法不需在平坦层或彩色滤光层等较厚的膜层中形成接触窗来连接画素电极与源极／汲极，因此可有效降低制程的困难度。