| 摘要 |
碳线发热体CW之面内配置密度，在内侧区域和位于此外周之外侧区域互为不同，前述外侧区域的面内配置密度比内侧区域之面内配置密度更密，而具有通电至前述碳线发热体CW的连接线之电源端子部，被配置在前述石英玻璃板状体的里面侧之部，而和前述内侧区域的碳线发热 体相连接之连接线，在前述石英玻璃板状体的部被连接至内侧区域之碳线发热体CW，而和前述外侧区域的碳线发热体相连接之连接线3a、3b不和前述内侧区域之碳线发热体CW相交叉，而自前述石英玻璃板状体的部被延伸至外侧区域，且和外侧区域的碳线发热体CW相连接。 |
