| 摘要 |
本发明之目的在于提供一种可对基板实行良好之乾燥处理之基板处理装置，该基板处理装置中之吐出管140设置于处理室20内，吐出乾燥气体。减压泵31使处理室20内排气而成减压环境。乾燥气体供给路820将在第1乾燥气体生成部870、第2乾燥气体生成部830生成之乾燥气体供给至吐出管140。第1乾燥气体生成部870将贮留在加热槽871之ＩＰＡ液用氮气起泡，藉此生成乾燥气体。第2乾燥气体生成部830将在ＩＰＡ蒸气产生槽蒸发之ＩＰＡ蒸气与氮气混合，藉此生成乾燥气体。如此，可将在复数个乾燥气体生成部830、870生成之乾燥气体供给至处理室20，提高处理室20内之ＩＰＡ蒸气浓度。因此，可缩短乾燥时间，提高乾燥性能。 |
