摘要 |
一种液晶显示装置及其制造方法,用于改善闸极线的线宽和表面状态的均匀性。液晶显示装置的制造方法包含:制备包含由部分闸极线、闸电极和闸极垫所组成的闸极配线区域之绝缘基板;依序地形成闸极配线之银金属层及自组装单层膜于绝缘基板上;制备模具遮罩于包含自组装单层膜之绝缘基板上方,其中模具遮罩具有预定图案以暴露闸极配线区域;将模具遮罩的预定图案印刷至自组装单层膜以形成自组装单层膜图案;以及使用自组装单层膜图案作为遮罩选择性地蚀刻银金属层以形成闸极配线,其中闸极配线包含闸极垫、闸电极及闸极线,且皆形成于包含依序沈积之自组装单层膜和银金属层之双层结构中。 |