藉由时间调变而在不同径向气体注入区域利用具有不同蚀刻及聚合物沉积速率之聚合蚀刻气体的电浆蚀刻制程

摘要

本发明公开一种在电浆反应器中蚀刻工件的电浆蚀刻制程，该反应器具有一顶电极，该顶电极位在制程区域上方并且具有多个同心气体注入区域。该制程包括经由不同的气体注入区域来注入具有不同化学物种组成的制程气体，以建立在该多个气体注入区域中化学物种的分布情形。该制程气体包括促进高蚀刻速度之富含氟的聚合蚀刻气体、促进高聚合物沈积速度之富含碳的聚合蚀刻气体、延迟聚合物沈积速度的聚合物管理气体（例如，氧气或氮气）和降低蚀刻轮廓锥形化的稀释用惰性气体。