一种树状分形结构的宏观ZnO单晶材料及其制备方法

摘要

一种树状分形结构的宏观ZnO单晶材料及其制备方法，属于半导体光电子材料与器件的技术领域。以商品的ZnO粉、石墨粉和铜粉做原料，以易得的N₂为气源，在水平管式生长炉中采用热蒸发法在衬底上生长树状分形结构的宏观ZnO单晶材料，是依附在衬底上的长度和宽度分别为5mm～25mm和1～10mm的树状分形结构的宏观ZnO单晶结构。所述的方法的优点计有：只需在常压下，对载气的要求不高，只需要N₂就可以，不需要加O₂等其他气体，对气流量也不要求严格的控制，简单易行，重复性好，原料容易得到，制备成本低廉，适于用来制备大面积的ZnO单晶结构。树状分形结构的宏观ZnO单晶材料具有独特形貌特征，有望在微电子和微电子光电器件等领域获得重要应用。

主权项

1、一种树状分形结构的宏观ZnO单晶材料，其特征在于，该材料是依附在衬底上的长度和宽度分别为5mm～25mm和1～10mm的树状分形结构的宏观ZnO单晶材料。