| 发明名称 | 声波器件和制作声波器件的方法 | ||
| 摘要 | 一种能够长时间表现出良好特性的声波器件和一种制作声波器件的方法。本发明的声波器件包括：具有压电特性和一个表面的压电体层；一对电极，用以在通电时于所述压电体层内感应出声振动，所述各电极布置在压电体层的一个表面上；以及二氧化硅层，使与所述压电体层和/或各电极接触，所述二氧化硅层是由二氧化硅作为它的主要成分而构成的。其中，通过在60％或更大的氧气流量比氛围内实行以二氧化硅溅射目标形成所述二氧化硅层。 | ||
| 申请公布号 | CN101093981A | 申请公布日期 | 2007.12.26 |
| 申请号 | CN200710110058.1 | 申请日期 | 2007.06.19 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 藤井知;舟川刚夫 |
| 分类号 | H03H9/145(2006.01);H03H9/25(2006.01);H03H3/08(2006.01) | 主分类号 | H03H9/145(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 王玮 |
| 主权项 | 1.一种声波器件，它包括：具有压电特性和一个表面的压电体层；一对电极，用以在通电时于所述压电体层内感应出声振动，所述各电极布置在压电体层的一个表面上；以及二氧化硅层，使与所述压电体层和/或各电极接触，所述二氧化硅层是由二氧化硅作为它的主要成分而构成的；其中，通过在60％或更大的氧气流量比氛围内实行以二氧化硅溅射目标形成所述二氧化硅层。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||