发明名称 切割/管芯-接合膜,固定芯片半导体的方法和半导体器件
摘要 一种切割/管芯-接合膜,其包括在支撑基底材料(1)上的压敏粘合剂层(2)和在压敏粘合剂层(2)上的管芯-接合粘合剂层(3),其中压敏粘合剂层(2)和管芯-接合粘合剂层(3)之间界面的剥离性在对应于管芯-接合粘合剂层(3)中机件-附着区(3a)的界面(A)和对应于部分或全部其他区域(3b)的界面(B)之间是不同的,而界面(A)的剥离性高于界面(B)的剥离性。这种切割/管芯-接合膜在切割机件过程中的保持力和将切割的芯片半导体连同管芯-接合粘合剂层一起剥离过程中的剥离性之间的平衡方面极优异。
申请公布号 CN100358126C 申请公布日期 2007.12.26
申请号 CN200310101314.2 申请日期 2003.10.14
申请人 日东电工株式会社 发明人 松村健;水谷昌纪
分类号 H01L21/78(2006.01);C09J5/00(2006.01) 主分类号 H01L21/78(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 王玮
主权项 1、一种切割/管芯-接合膜,其包含在支撑基底材料(1)上的压敏粘合剂层(2)和在压敏粘合剂层(2)上的管芯-接合粘合剂层(3),其中压敏粘合剂层(2)和管芯-接合粘合剂层(3)之间界面的剥离性在对应于管芯-接合粘合剂层(3)中半导体晶片-附着区(3a)的界面(A)和对应于部分或全部其他区域(3b)的界面(B)之间是不同的,并且界面(A)的剥离性高于界面(B)的剥离性,管芯-接合粘合剂层(3)中半导体晶片-附着区(3a)对半导体晶片和对压敏粘合剂层(2a)的粘合力满足如下关系:对半导体晶片的粘合力大于对压敏粘合剂层(2a)的粘合力。
地址 日本大阪府