发明名称 |
切割/管芯-接合膜,固定芯片半导体的方法和半导体器件 |
摘要 |
一种切割/管芯-接合膜,其包括在支撑基底材料(1)上的压敏粘合剂层(2)和在压敏粘合剂层(2)上的管芯-接合粘合剂层(3),其中压敏粘合剂层(2)和管芯-接合粘合剂层(3)之间界面的剥离性在对应于管芯-接合粘合剂层(3)中机件-附着区(3a)的界面(A)和对应于部分或全部其他区域(3b)的界面(B)之间是不同的,而界面(A)的剥离性高于界面(B)的剥离性。这种切割/管芯-接合膜在切割机件过程中的保持力和将切割的芯片半导体连同管芯-接合粘合剂层一起剥离过程中的剥离性之间的平衡方面极优异。 |
申请公布号 |
CN100358126C |
申请公布日期 |
2007.12.26 |
申请号 |
CN200310101314.2 |
申请日期 |
2003.10.14 |
申请人 |
日东电工株式会社 |
发明人 |
松村健;水谷昌纪 |
分类号 |
H01L21/78(2006.01);C09J5/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/78(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
王玮 |
主权项 |
1、一种切割/管芯-接合膜,其包含在支撑基底材料(1)上的压敏粘合剂层(2)和在压敏粘合剂层(2)上的管芯-接合粘合剂层(3),其中压敏粘合剂层(2)和管芯-接合粘合剂层(3)之间界面的剥离性在对应于管芯-接合粘合剂层(3)中半导体晶片-附着区(3a)的界面(A)和对应于部分或全部其他区域(3b)的界面(B)之间是不同的,并且界面(A)的剥离性高于界面(B)的剥离性,管芯-接合粘合剂层(3)中半导体晶片-附着区(3a)对半导体晶片和对压敏粘合剂层(2a)的粘合力满足如下关系:对半导体晶片的粘合力大于对压敏粘合剂层(2a)的粘合力。 |
地址 |
日本大阪府 |