| 主权项 |
1.一种电化学电镀电解液,包括: 一电解液;以及 一聚合添加物,于该电解液中,该聚合添加物系包 含具有一芳香族单体与一芳香胺单体之聚合物。 2.如申请专利范围第1项所述之电化学电镀电解液, 其中该芳香族单体包含一官能基,该官能基系择自 苯与咯烷酮所组成之族群。 3.如申请专利范围第1项所述之电化学电镀电解液, 其中该芳香胺单体包含一官能基,该官能基系择自 咪唑与咪唑衍生物所组成之族群。 4.如申请专利范围第3项所述之电化学电镀电解液, 其中该芳香族单体包含一官能基,该官能基系择自 苯与咯烷酮所组成之族群。 5.如申请专利范围第1项所述之电化学电镀电解液, 其中该每一聚合物系具有一CH3(CH2CHX)m(CH2CHYCH2)n CH3 之化学式,X为一芳香族官能基,Y为一芳香胺官能基 ,m与n分别为该每一聚合物中该芳香族单体与该芳 香胺单体之数目。 6.如申请专利范围第5项所述之电化学电镀电解液, 其中该芳香族官能基包含一官能基,该官能基系择 自苯与咯烷酮所组成之族群。 7.如申请专利范围第5项所述之电化学电镀电解液, 其中该芳香胺官能基包含一官能基,该官能基系择 自咪唑与咪唑衍生物所组成之族群。 8.如申请专利范围第7项所述之电化学电镀电解液, 其中该芳香族官能基包含一官能基,该官能基系择 自苯与咯烷酮所组成之族群。 9.一种电化学电镀电解液,包括: 一电解液;以及 一聚合添加物,于该电解液中,该聚合添加物系包 含具有一芳香族单体与一芳香胺单体之聚合物且 该等聚合物之正电荷密度大体介于1~6 meq/g。 10.如申请专利范围第9项所述之电化学电镀电解液 ,其中该芳香族单体包含一官能基,该官能基系择 自苯与咯烷酮所组成之族群。 11.如申请专利范围第9项所述之电化学电镀电解液 ,其中该芳香胺单体包含一官能基,该官能基系择 自咪唑与咪唑衍生物所组成之族群。 12.如申请专利范围第9项所述之电化学电镀电解液 ,其中该每一聚合物系具有一CH3(CH2CHX)m(CH2CHYCH2)nCH3 之化学式,X为一芳香族官能基,Y为一芳香胺官能基 ,m与n分别为该每一聚合物中该芳香族单体与该芳 香胺单体之数目。 13.如申请专利范围第9项所述之电化学电镀电解液 ,其中该每一聚合物之分子量大体介于2000~40000。 14.如申请专利范围第13项所述之电化学电镀电解 液,其中该芳香族单体包含一官能基,该官能基系 择自苯与咯烷酮所组成之族群。 15.如申请专利范围第13项所述之电化学电镀电解 液,其中该芳香胺单体包含一官能基,该官能基系 择自咪唑与咪唑衍生物所组成之族群。 16.如申请专利范围第13项所述之电化学电镀电解 液,其中该每一聚合物系具有一CH3(CH2CHX)m(CH2CHYCH2) nCH3之化学式,X为一芳香族官能基,Y为一芳香胺官 能基,m与n分别为该每一聚合物中该芳香族单体与 该芳香胺单体之数目。 17.一种于电镀表面电镀金属之方法,包括下列步骤 : 提供一电解液; 混合一聚合添加物与该电解液,该聚合添加物包含 具有一芳香族单体与一芳香胺单体之聚合物; 浸泡一电镀表面于该电解液中;以及 电镀一金属至该电镀表面。 18.如申请专利范围第17项所述之于电镀表面电镀 金属之方法,其中该芳香族单体包含一官能基,该 官能基系择自苯与咯烷酮所组成之族群,该芳香 胺单体系包含一官能基,该官能基择自咪唑与咪唑 衍生物所组成之族群。 19.如申请专利范围第17项所述之于电镀表面电镀 金属之方法,其中该每一聚合物系具有一CH3(CH2CHX)m (CH2CHYCH2)nCH3之化学式,X为一芳香族官能基,Y为一芳 香胺官能基,m与n分别为该每一聚合物中该芳香族 单体与该芳香胺单体之数目。 20.如申请专利范围第17项所述之于电镀表面电镀 金属之方法,其中该每一聚合物之分子量大体介于 2000~ 40000且该等聚合物之正电荷密度大体介于1~6 meq/g。 图式简单说明: 第1a图系显示本发明应用之电化学电镀系统。 第1b图系显示本发明提供之基底之剖面图,其上利 用包含ECP聚合添加物的电镀液过度覆盖一电镀金 属层,并说明该金属层上金属过度覆盖减少的情形 。 第2图系显示本发明电镀金属之流程图。 |
