AUTOFOCUS DEVICE FOR MICROSCOPY

摘要

Es wird beschrieben ein Mikroskop mit einem eine Probe (2) entlang eines Mikroskopstrahlenganges abbildenden Objektiv (4) und einer Autofokuseinrichtung, die einen Autofokusstrahlengang aufweist, welcher über einen Strahlteiler (6, 11') in den Mikroskopstrahlengang in Probenabbildungsrichtung an einer Stelle nach dem Objektiv (4) eingekoppelt ist, einen Lichtmodulator (12) zur Erzeugung eines zweidimensionalen, intensitätsmodulierten Modulationsobjektes aufweist, das im Autofokusstrahlengang in einer zur Fokusebene des Objektives (4) konjugierten Ebene liegt oder diese schneidet und in die Fokusebene des Objektives (4) abgebildet ist, und eine Kamera (16) zur Aufnahme eines zweidimensionalen Bildes aufweist, auf die das in der Probe (2) liegende Bild des Modulationsobjektes abgebildet ist, wobei die Bildebene der Kamera (16) eine zum Modulationsobjekt konjugierte Ebene schneidet oder in dieser Ebene liegt und die Kamera (16) den Kontrast des in der Probe (2) liegenden Bildes des Modulationsobjekt erfaßt, wobei das Modulationsobjekt und/oder die Bildebene der Kamera (16) schräg zur optischen Achse (OA2, OA3) des Autofokusstrahlenganges liegen/liegt.