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发明名称 Alkalische Reinigungsmittel zur Reinigung nach einer chemisch-mechanischen Planarisierung
摘要
申请公布号 DE602005001875(T2) 申请公布日期 2007.12.20
申请号 DE200560001875T 申请日期 2005.03.15
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INC. 发明人 CHANDRAKANT TAMBOLI, DNYANESH;BANERJEE, GAUTAM
分类号 C11D3/26;H01L21/306;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/33;C11D3/34;C11D7/26;C11D7/32;C11D11/00;C23G5/024;C23G5/036;H01L21/02;H01L21/304 主分类号 C11D3/26
代理机构 代理人
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