| 发明名称 | 用于清洁探针板接点的设备与方法 | ||
| 摘要 | 本发明揭示了一种用于从集成电路测试探针设备测试探针板的多个电接点上，清洁碎屑和残渣的设备及其使用方法，该设备优先包括具有槽形表面的硅片，可以移动该测试探针板以实现压力接触。槽形表面提供了一种栅形结构，这种栅形结构与所实现的压力电接触结合，可以破碎夹杂或粘附的任何残渣颗粒，然后，将这些颗粒破碎为更小颗粒并从探针板上脱落。利用各种测量传感器对探针板的压力和相对运动进行控制。 | ||
| 申请公布号 | CN100356541C | 申请公布日期 | 2007.12.19 |
| 申请号 | CN02132256.2 | 申请日期 | 2002.09.04 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 金秉住;黄寅奭;李浩烈;卞守珉;金炯求;池俊洙 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01);G01R1/073(2006.01);G01R31/28(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 谢丽娜;谷惠敏 |
| 主权项 | 1.一种用于清洁集成电路测试探针设备上的探针的设备，该设备包含：锯齿形晶片，具有脊形面；运动控制装置，用于移动探针从而以预定压力接触锯齿形晶片；以及残渣去除装置。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||