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发明名称
Cooling apparatus for semiconductor test handler
摘要
申请公布号
KR100785741(B1)
申请公布日期
2007.12.18
申请号
KR20060038661
申请日期
2006.04.28
申请人
发明人
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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