晶圆保持体与其制造方法及半导体制造装置

摘要

本发明提供一种晶圆保持体，其可用于于常温以下之温度对晶圆进行处理，尤其适于于CVD装置中使用。本发明为具有晶圆载置面之晶圆保持体1，其由陶瓷构成，于其内部具有用以使对晶圆保持体1进行冷却之冷媒流动之流路3，较好的是进而具备高频产生用电极2。可以如下方式制造上述晶圆保持体1，即，于1片陶瓷基板上形成流路3，以覆盖该流路3之方式，于陶瓷基板上接合至少1片其他陶瓷基板，较好的是进而接合形成有高频产生用电极2之陶瓷基板。