发明名称 PHYSICAL VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6314868(A) 申请公布日期 1988.01.22
申请号 JP19860157373 申请日期 1986.07.04
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KANEDA HIROKAZU
分类号 H01L21/285;C23C14/54;H01L21/203 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
地址