| 摘要 |
本发明之目的在于提供一种工作台装置，系能分割成可陆路运送，并确保对被处理基板的适当处理。工作台装置(11)系具备：一对滑轨架(13X1)、(13X2)，以夹住设置有被处理基板之基板支撑面的方式而对向配置；以及拱架(13Y)，在该一对滑轨架(13X1)、(13X2)上面以自由移动的方式被支撑着；并且，该工作台装置(11)系由下列的结合体所构成：第1结构体V1，系包含一方的滑轨架(13X1)；第2结构体V2，系包含另一方的滑轨架(13X2)；以及第3结构体V3，系包含拱架(13Y)。藉此，即使为大型工作台装置，亦因各结构体V1至V3为自由分离而能进行陆路运送，此外，因拱架(13Y)的移动路径上不存在接合处，故可确保在不损害到拱架(13Y)之移动精确度下进行适当的基板处理。 |
