用于近场光学扫描器材之一清洗折射元件之光学表面之方法及用于近场光学扫描器材之清洗折射元件之光学表面之清洗设备

摘要

本发明提供用于一近场光学扫描器材之清洗一折射元件之一光学表面的一种方法及一种设备。一可磁化的清洗材料用于促进对该折射元件之有效清洗而不损坏该元件。若需要，可将根据本发明之方法与已知清洗方法组合。